Oliefri luftkompressor til Semiconductor Labs

For at etablere pålidelige forsyningslinjer til præcisionsforskningsfaciliteter, kilde fra China Oil Free Air Compressor for Semiconductor Labs leverandører. DECHUANs luftløsninger med høj renhed bruger flerlags kulstofisoleringsforseglinger for at eliminere sporkulbrinter, hvilket sikrer uberørt gaskvalitet til kritisk siliciumætsning.

Kritiske renrumsgaskrav til renhed

Ved halvlederfremstilling og tyndfilmslitografi kan selv en enkelt mikroskopisk dråbe oliedamp, der føres gennem luftledningen, ødelægge en hel produktionsbatch. Dette specialiserede produkt er konstrueret til at opfylde de absolut højeste standarder for renhed:

• TÜV-certificeret klasse 0 luftlevering: Vores systemer gennemgår strenge tests på tværs af variable driftstemperaturer. Uafhængig analyse bekræfter absolut nul spor af olie i udgangsluftstrømmen.

• Korrosionsfrie interne luftveje: Hvert stykke rør, kølebundt og separationsmatrix nedstrøms for kompressionskammeret er lavet af førsteklasses rustfrit stål for at forhindre rustflager i at forurene renrumsluftledninger.

• Avanceret Elektronikon®-integration: Den integrerede controller følger nøje driftsmålinger og har proaktive sikkerhedsafbrydelser for at sikre, at der aldrig kommer uren luft ind i laboratoriet.

De høje omkostninger ved mikrokontaminering i elektronik

Ved fremstilling af halvlederwafere kan en enkelt dråbe olieaerosol forurene et helt renrumsmiljø, ødelægge tusindvis af siliciumwafers og forårsage millioner i tabt produktionstid. Traditionelle luftkompressorer kan ikke garantere den absolutte nul-carbonhydrid-renhed, der kræves til disse processer i nanometerskala.

Den specialiserede oliefri luftkompressor til Semiconductor Labs garanterer ren processikkerhed:

• Certificeret KLASSE 0 luftstrøm: Testet strengt af TÜV på tværs af ekstreme termiske og trykområder for at sikre absolut nul olietilstedeværelse.

• Partikelfri indvendige dele: Forkølere i rustfrit stål og stjerne-finne-varmevekslere eliminerer oxidationsflager eller kemikalieafgivelse i luftvejen.

• Elektronisk overvågningsskjold: Proaktive vedligeholdelsesalarmer og automatiske fejlnedlukninger forhindrer systemafvigelser, før de når dit renrumsværktøj.

Tekniske renhedsparametre

• Systemeffekt: 55kw - 900kw højdensitetskonfigurationer.

• Volumetrisk leveringshastighed: 4,2 - 148,5 m³/min ren strømudgang.

• Olieindholdsklassificering: ISO 8573-1 Klasse 0 fuldstændig oliefri validering.

• Kølelayout: Væskekøling i rustfrit stål forhindrer kemisk udgasning.

Ydeevnereferencebetingelser for enheden blev målt i henhold til bilag C, 4. udgave (2009) af ISO 1217:

· Relativ luftfugtighed: 0%

· Absolut indløbstryk: 1 bar

· Indløbstemperatur: 20°C Udladningshastighed (FAD) blev målt ved følgende driftstryk:

Type konstant hastighed:

·  -7,5 bar type: 7 bar

· -8,6 bar type: 7 bar

· -10 bar type: 9 bar

VSD type:

· -8,6 bar type: 7 bar

· -10,4 bar type: 9 bar

· (2) Klasse A vægtet emissionslydtrykniveau for arbejdsstationen (LpWSAd). Målt i henhold til ISO 2151:2004 (ved brug af 150 9614/2 lydintensitetsscanningsmetode). Den nyligt tilføjede korrektionsfaktor er en fuldstændig usikker værdi (KpAd), der er i overensstemmelse med testkoden.

· (3) Vægt er kun til reference; den faktisk leverede vægt er gældende.

ZR/ZT 110-160 (FF) STD

I henhold til ISO 1217 Annex C, 4. udgave (2009), er referencebetingelserne for enhedens ydeevne som følger:

· Relativ luftfugtighed: 0%

· Absolut indløbstryk: 1 bar

· Indløbstemperatur: 20°C

Forskydning FAD måles ved følgende driftstryk:

Modeller med konstant hastighed:

-7,5 bar modeller: 7 bar

-8,6 bar modeller: 7 bar

-10 bar modeller: 9 bar

VSD modeller:

-8,6 bar modeller: 7 bar

-10,4 bar modeller: 9 bar

(2) Klasse A vægtet emissionslydtrykniveau for arbejdsstationen (LpWSAd). Målt i henhold til ISO 2151:2004 (ISO 9614/2 lydintensitetsscanningsmetode). Den nyligt tilføjede korrektionsfaktor KpAd er usikker og overholder testkoden.

(3) V1=380V, V2=400V.

(4) Vægt er kun til reference; faktisk vægt er gældende.

ZR/ZT 200-275 (FF)

-Relativ luftfugtighed:0%

-Absolut indløbstryk: 1bar

- Indløbstemperatur: 20°℃

Afladningshastighed (FAD) blev målt ved følgende driftstryk

Type konstant hastighed:

-7,5 bar type: 7 bar

-8,6 bar type: 7 bar

-10 bar type: 9 bar

VSD-type:

-8,6 bar type: 7 bar

-10,4 bar type: 9 bar

(2) Klasse A vægtet emissionslydtrykniveau for arbejdsstationen (LpWSAd).

Målt i henhold til ISO 2151:2004 (ved brug af 150 9614/2 (lydintensitetsscanningsmetode).

Den nyligt tilføjede korrektionsfaktor er en fuldstændig usikker værdi (KpAd), der er i overensstemmelse med testkoden.

(3) Vægt er kun til reference; den faktisk leverede vægt er gældende.

ZR 300-750

Ydeevnereferencebetingelser for enheden blev målt i henhold til bilag C, 4. udgave (2009) af ISO 1217:

· Relativ luftfugtighed: 0%

· Absolut indløbstryk: 1 bar

· Indløbstemperatur: 20°C Udladningshastighed (FAD) blev målt ved følgende driftstryk:

Type konstant hastighed:

·  -7,5 bar type: 7 bar

· -8,6 bar type: 7 bar

· -10 bar type: 9 bar

VSD type:

· -8,6 bar type: 7 bar

· -10,4 bar type: 9 bar

· (2) Klasse A vægtet emissionslydtrykniveau for arbejdsstationen (LpWSAd). Målt i henhold til ISO 2151:2004 (ved brug af 150 9614/2 lydintensitetsscanningsmetode). Den nyligt tilføjede korrektionsfaktor er en fuldstændig usikker værdi (KpAd), der er i overensstemmelse med testkoden.

· (3) Vægt er kun til reference; den faktisk leverede vægt er gældende.

ZR 200X-400X

Ydeevnereferencebetingelser for enheden blev målt i henhold til bilag C, 4. udgave (2009) af ISO 1217:

· Relativ luftfugtighed: 0%

· Absolut indløbstryk: 1 bar

· Indløbstemperatur: 20°C Udladningshastighed (FAD) blev målt ved følgende driftstryk:

Type konstant hastighed:

·  -7,5 bar type: 7 bar

· -8,6 bar type: 7 bar

· -10 bar type: 9 bar

VSD type:

· -8,6 bar type: 7 bar

· -10,4 bar type: 9 bar

· (2) Klasse A vægtet emissionslydtrykniveau for arbejdsstationen (LpWSAd). Målt i henhold til ISO 2151:2004 (ved brug af 150 9614/2 lydintensitetsscanningsmetode). Den nyligt tilføjede korrektionsfaktor er en fuldstændig usikker værdi (KpAd), der er i overensstemmelse med testkoden.

· (3) Vægt er kun til reference; den faktisk leverede vægt er gældende.

Cleanroom Laboratory User Case Study

En elektronikproducent i Asien installerede DECHUANs specialiserede luftsystem til at levere nitrogengenereringssløjfer med høj renhed og pneumatiske testarme. Tidligere tillod standardkompressorer sporoliedampe at migrere forbi inline-filtre, belægning af litografilinser og forårsage mikrofrakturer i waferbelægninger. Efter installationen af ​​den oliefrie luftkompressor til Semiconductor Labs rapporterede laboratoriet ingen olierelaterede ledningsforureningshændelser, hvilket sparer betydelige omkostninger til renrumsrengøring og genkalibrering over to års kontinuerlig drift.

Skræddersyede komponenter og kontrol

• Opgradering af rustfrit stålmateriale: Vi udskifter alle standard indvendige støbte komponenter med rustfrit stål af høj kvalitet for at opfylde strenge retningslinjer for mikrokontaminering.

• Avancerede kommunikationsprotokoller: Enheden er forudindlæst med specialiserede kommunikationsprotokoller, der gør det muligt for renrumskontrolcentre at fjernovervåge luftmålinger.

• Kompakt strukturelt fodaftryk: Det indvendige layout er optimeret til at minimere fodaftryk, hvilket gør det nemt at installere i trange laboratoriekælderbrugsrum.

Industrielle købere ofte stillede spørgsmål

Q: Kan vi forbinde denne kompressor direkte til ultra-high-purity (UHP) filtreringsløkker?

A: Ja, vores luftudgang er fuldt ud kompatibel med avancerede renrumstørretumblere og sub-mikron partikelfiltreringssystemer. Fordi den rå luft ikke indeholder oliedamp, vil dine specialfiltre på stedet ikke blive tilstoppet med olietåge, hvilket forlænger filterets levetid.

Spørgsmål: Hvordan sikrer Z-type tætninger ingen oliemigrering fra gearenheden?

A: Den oliefrie luftkompressor til Semiconductor Labs har et fysisk atmosfærisk udluftningsrum mellem det oliesmurte gearhus og det tørre kompressionskammer. Specialiserede berøringsfri carbonringtætninger er parret med negative trykkanaler, hvilket sikrer, at enhver gearolietåge er fuldstændig blokeret fra at trænge ind i den rene luftstrøm.

Sp.: Hvad sker der, hvis en intern temperatursensor registrerer en unormal aflæsning?

A: Elektronikon®-controlleren prøver vitale data flere gange i sekundet. Hvis der registreres en temperaturstigning på noget tidspunkt, udløser systemet øjeblikkeligt en automatisk nedlukning og lukker isoleringsventilerne, hvilket sikrer, at uafkølet luft aldrig strømmer nedstrøms ind i dit laboratoriums følsomme udstyr.